magnetron sputter vakuumkatte masinad - Keskmise sagedusega magnetron sputter tehnoloogia on järk-järgult muutunud peavooluks
Keskmise sageduse magnetroni pihustustehnoloogia on järk-järgult muutunud pihustuskate tehnoloogia peavooluks.
Kate: Mitmeotstarbeline metallkate, komposiitkile, läbipaistev juhtivkate, suurendatud tagasivõtu kate, elektromagnetiline varjestus, dekoratiivkate jne.
Toiteallikas: DC magnetroni pihustustoe, MF pihustustoe, kõrgsurve ioonibombardimise toide.
Sihtmärk: DC magnetroni pihustamise sihtmärk, MF kahekordsed sihtmärgid, plaadi sihtmärk, silindri sihtmärk.
Tühja kambristruktuur: Vertikaalne signaaluks, vertikaalsed kahekordsed uksed.
Pumba süsteem: Molekulipump (difusioonipump) + Roots pump + Hoidmispump (valikuline: turbo pump, polü külmsüsteem)
Õhusüsteem: Massivoolu regulaator (1-4 teed)
Lõplik vaakum: 6x10-4pa (koormamata, puhas kamber)
Pumbamis aeg: Koormamata õhust 5x10-3pa<13min
Töökoha liikumisrežiim: 6 telge/8 telge/9 telge avalik ja iseseisev pöörlemine
Mõõtmed: Φ800*H900mm, 1100*H1200mm, Φ1350*H1250mm, Φ1600*H1250mm, Φ1900*H1250mm
Õhusüsteem: Massivoolu regulaator (1-4 teed)
Lõplik vaakum: 6x10-4pa (koormamata, puhas kamber)